高精度：定位精度可達(dá)0.5~0.1mm，過濾精度可達(dá)0.01um，除油率可達(dá)1m3標(biāo)準(zhǔn)大氣中的油霧在0.1mg以下。
輕量化：元件采用鋁合金及塑料等新型材料制造，零件進(jìn)行等強(qiáng)度設(shè)計。
復(fù)合集成化：減少配線(如串行傳送技術(shù))、配管和元件，節(jié)省空間，簡化拆裝，提高工作效率。
機(jī)電一體化：典型的是“計算機(jī)遠(yuǎn)程控制+可編程控制器+傳感器+氣動元件”組成的控制系統(tǒng)。
高速度：氣控調(diào)砂閥的換向頻率可達(dá)數(shù)十赫茲，氣缸的最大速度可達(dá)3m/s。
無給油化：不供油潤滑元件組成的系統(tǒng)不污染環(huán)境，系統(tǒng)簡單，維護(hù)也簡單，節(jié)省潤滑油。
低功耗：氣控調(diào)砂閥的功率可降至0.1W。環(huán)保、節(jié)能。
小型化：元件制成超薄、超短、超小型。